特种气体属于工业气体的一种。工业气体是现代工业重要的基础原料,根据不同气体的生产工艺和用途,可以将工业气体分为特种气体、合成气体、空分气体三大类。其中,特种气体是指在特定领域中应用的对纯度、品种、性质有特殊要求的气体,包括电子气体、标准气体、高纯度气等种类,可应用于电工电子、半导体、液晶面板、光纤、医学研究及诊断等多个领域。
在半导体制造过程中涉及的材料众多,在半导体集成电路的生产过程中,从芯片生长到最后器件的封装,几乎每一步、每一个环节都离不开电子特种气体,因此电子特种气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。半导体特种气体的下游是半导体晶圆制造厂商,最终下游市场是智能手机、平板电脑、物联网、人工智能硬件等构成的电子产品市场。近年来,除了以智能手机、平板电脑为代表的新兴智能电子产品带来的巨大的出货量,更加前沿的高科技领域如物联网和人工智能越来越成为主流趋势。