天津大学《微系统技术》课件/微系统设计与制造/MEMS

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教材
微系统设计与制造，王喆垚著
微系统设计，Stephen D.Senturia著（电子工业出版社翻译）
Foundations of MEMS，Chang Liu


天津大学《微系统技术》课件lecture1_introduction-2020.pdf
天津大学《微系统技术》课件Lecture02-IC+fabrication.pdf
天津大学《微系统技术》课件Lecture03-MEMS fabication.pdf




天津大学《微系统技术》课件.zip (29.02 MB, 需要: RMB 29 元)

2024-8-4 13:51:08 上传

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关键词：设计与制造 MEMS 系统设计 天津大学 EMS