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天津大学《微系统技术》

段学欣
天津大学微纳机电实验室

教材
微系统设计与制造，王喆垚著
微系统设计，Stephen D.Senturia著（电子工业出版社翻译）
Foundations of MEMS，Chang Liu


天津大学《微系统技术》课件Lecture03-MEMS fabication.pdf
天津大学《微系统技术》课件lecture1_introduction-2020.pdf
天津大学《微系统技术》课件Lecture02-IC+fabrication.pdf


天津大学《微系统技术》课件.rar (27.18 MB, 需要: RMB 19 元)

2024-10-23 09:19:32 上传

需要: RMB 19 元  [购买]

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