Tescan3型扫描电子显微镜操作规程(3)

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Tescan3型
扫描电子显微镜
操作规程
1、开机：
翻开N2阀门〔1〕开启并确认稳压电流：220v
。〔2〕翻开电镜主开关，
由OFF位转向ON位
，等待计算机完成启动
。〔3〕如果进行元素分析，
那么先翻开QUANTAX程序，后
翻开VEGA程序，确认用户、语言、密码，等待软件进入系统。
〔4〕系统自动进行硬件、软件自检。
〔5〕单击VEGA
中的[PUMP]
，抽真空开始
。〔6〕待真空状态显示条
由红变绿，真空度小于10^-5torr后，
即真空到达要求，单击[HV]
接通电镜高压，开始观
察样品和照像。2、更换样品
〔1〕单击[HV]，切断高压
。〔2〕手动调节
样品台，使其回到初始位置
。〔3〕单击窗口中的[
泄真空]，样品
室放空，调节
适宜的N2流量进入，不能使N2流量太大
，通常控制出口压力表在0.1刻度左右。
〔4〕真空指示红条消失后，样品室
恢复为大气压，
翻开样品室门，更换样品
。〔5〕待更换好样品后，
轻按样品室舱门，
点击[Pump]
抽真空，真空指示进度条变绿
，真空度小于10^-5torr
后，方可点击[HV]开启
高压。〔6〕确认BSE探头已摇出
。 ...

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关键词：电子显微镜 操作规程 scan ESC 显微镜