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材料、制备工艺及检测
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主讲：肖全松
6.4.2 硅沉积技术
高温硅沉积法；低温沉积法；
上节课知识点
一、 高温硅沉积法
概述：高温(>1000℃)的硅沉积法是获得硅的高沉积速率(1-20μm/min)的重要方法。2. 高温沉积技术包括：元素硅熔融后在衬底上沉积薄膜或硅层的熔体生长和熔体被覆技术；含硅气态前体在衬底上热分解的化学气相沉积〔CVD〕；从熔体的金属液沉积硅的液相外延〔LPE〕。

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