大行程高精密气浮工作台的关键技术研究

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大行程高精密气浮工作台的关键技术研究
装备制造业一直都是各个国家经济发展的基础,近年来,随着科学技术的不断进步,在微电子技术和航空航天等领域,对精度的要求越来越高。因此,在精密领域的水平是衡量一个国家经济能力和国际地位的重要指标。
机床精度的高低,直接影响到所加工产品的精度,机床类型以及驱动方式的选择是影响机床精度的核心,而对影响机床精度关键问题的改善程度直接影响机床的整体精度,进而影响到所加工的产品质量。随着对精密加工技术需求范围越来越广泛,如何使机床真正实现大行程、高精密的运行已经成为现在亟需待解决的问题。
因此,本论文在国家自然科学项目的支持下,对气浮工作台当中存在的一些关键问题进行了深入细致的研究,本论文主要研究内容如下：1、对气浮静压轴承在不同结构参数和不同供气压力条件下的承载力、气浮刚度、耗气量进行分析计算和实验验证,并提出采用增加均压槽的方式改善气浮静压轴承的承载特性。2、选择适合气浮工作台的传动方式,对传统的速度曲线进行改进,提出S型速度曲线规则,使其更加适合气浮平台的要求,推导出各时间段的加速度、速度、位移公式,并画出实时控制流程图。
3、对气浮平台的变形问题进行分析 ...

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关键词：关键技术 工作台 装备制造业 国家经济 产品质量