MSM型TiO-2LaAlO-3基紫外探测器的研制

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MSM型TiO_2/LaAlO_3基紫外探测器的研制
在这个物质生活高度繁荣的时代，人们对高科技生活的渴望推动着科学技术的不断进步。面对信息爆炸式的增长，对信息采集传感器的要求也越来越严苛，紫外探测器作为信息传感器的重要分支受到越来越多的重视。
现阶段紫外探测器的研究已经由光电倍增管逐步过渡到宽禁带半导体材料，TiO2作为一种宽禁带半导体材料被广泛的应用在紫外探测技术中，但是目前的TiO2基紫外探测器存在暗电流大、响应恢复时间慢等缺点。为了改进这些缺点，我们从器件结构上入手，在最初TiO2基紫外探测器的基础上尝试引入TiO2/LaAlO3异质结结构，制备全新结构的紫外探测器，最终使器件的暗电流降低了两个数量级，光暗电流比高达五个数量级，响应恢复时间也得到了明显的改善。
经过溶胶凝胶法、旋涂、烧结等过程我们制备了纳米TiO2薄膜，并利用XRD、SEM、UV-VIS、AFM等手段对其进行了表征。通过表征，材料XRD衍射峰明显，表面光滑平整、细腻紧凑、起伏微小，吸收边发生在320nm附近，这些特征预示着我们制备了性能优良的纳米TiO2薄膜，为器件的制作打下了坚实的基础。
我们将TiO2旋涂在 ...

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关键词：msm TIO 探测器 半导体材料 信息采集