少层MoTe-2薄膜的相可控化学气相合成及氧化动力学研究

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少层MoTe_2薄膜的相可控化学气相合成及氧化动力学研究
二维过渡金属硫族化合物（如MoTe<sub>2</sub>）的可控相变为新型器件的制备和应用提供了巨大的可能性。目前MoTe<sub>2</sub>薄膜的相变调控主要通过激光辐照、机械应变或控制合成中前驱体源材料等方法,相变调控仍然局限于表面小面积局部区域或实现某种特定晶相,如何实现简单、可调、可逆连续相变的大面积少层MoTe<sub>2</sub>薄膜可控合成及理解相应相变机制仍然是目前的研究热点及难点。
本课题围绕大面积、高质量、晶相可控的少层二碲化钼薄膜化学气相合成这一目标,成功合成了四种均匀的分别以半金属性1T′相为主的混合相、半导性100%2H相、以半导性2H相为主的混合相以及100%半金属性1T′-MoTe<sub>2</sub>薄膜。系统研究了合成过程中通过碲化速率调控MoTe<sub>2</sub>薄膜的半金属相-半导相-半金属相的相变演化过程,并对相应演变机理进行了分析和解释,探究了生长条件与薄膜相变、厚度、结构、组分、结晶情况以及电学性质关系。
实验证实,通过化学反应过程中载气流速、反应温度控制碲化速率,可以 ...

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关键词：Mote 动力学 如何实现 可能性 化合物