微电子学概论
参考书
《微电子学概论》 张兴,黄如,刘晓彦 北京大学出版社,2000年1月《半导体器件物理与工艺》 施敏 科学出版社
本课程的目的
什么是微电子学和微电子学是研究什么的对微电子学的发展历史、现状和未来有一个比较清晰的认识。初步掌握半导体物理、半导体器件物理、集成电路工艺、集成电路设计、集成电路CAD方法、MEMS技术等基本概念,对微电子学的整体有一个比较全面的认识。
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[课件与资料] 微电子学概论 |
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