GB_T_38447-2020_微机电系统(MEMS)技术MEMS结构共振疲劳试验方法

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前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅰ
１ 范围 ……………………………………………………………………………………………………… １
２ 规范性引用文件 …………………………… ...

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关键词：MEMS EMS 规范性