[学习资料] GB_T_38614-2020_基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法 [推广有奖]

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犖１０

中华人民共和国国家标准
                     犌犅／犜３８６１４—２０２０

基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的
  纳米定位与扫描平台测量方法
   犕犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉狀犪狀狅狆狅狊犻狋犻狅狀犻狀犵犪狀犱狊犮犪狀狀犻狀犵狊狋犪犵犲
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２０２００４２８发布                   ２０２０１１０１实施
      国家市场监督管理总局       发布
      国家标准化管理委员会
               犌犅／犜３８６１４—２０２０
      目  次
前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ
１范围 ……………………………………………………………………………………………………… １
２规范性引用文件 …………………………………………………… ...