Tescan3型扫描电子显微镜操作规程

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1、开机：翻开
N阀门2开启并确认稳压电流：
220v
。翻开电镜主开关，由
OFF位转向ON位，等待计算机完成启动。
假设进展元素分析，则先翻开
QUANTAX
程序，后翻开
VEGA
程序，确认用户、语言、密码，等待软件进入系统。
系统自动进展硬件、软件自检。
单击VEGA
中的[PUMP]
，抽真空开头。
待真空状态显示条由红变绿，真空度小于
10^-5torr
后，即真空到达要求，单击
[HV]
接通电镜高压，开头观看样品和照像。
2、更换样品
单击[HV]
，切断高压。
手动调整样品台，使其回到初始位置。
单击窗口中的
[泄真空]，样品室放空，调整适宜的
N流2量进入，不能使
N流量太大，通常把握出口压力表在
0.1刻度左右。
2真空指示红条消逝后，样品室恢复为大气压，翻开样品
室门，更换样品。
待更换好样品后，轻按样品室舱门，点击
[Pump]
抽真空，
真空指示进度条变绿，真空度小于
10^-5torr
后，方可点击
[HV]
开启高压。
确认BSE探头已摇出
。3、样品观看和物相、成分分析
依据样品特性，选择放大倍数、适宜的电镜参数，如
BI〔束流〕、工作距离
WD和高 ...

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关键词：电子显微镜 操作规程 scan ESC 显微镜