[精选]MEMS工艺(5表面硅加工技术)

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MEMS工艺——
面硅加工技术
梁        庭
3920330(o)
Liangting@nuc.edu.cn
典型微加工工艺
微加工工艺分类硅工艺平面工艺体工艺特种加工工艺LIGA工艺准分子激光加工工艺其它工艺
二、表面微加工技术
表面微机械加工以硅片为基体，通过多层膜淀积和图形加工制备三维微机械结构。硅片本身不被加工，器件的结构部分由淀积的薄膜层加工而成，结构与基体之间的空隙应用牺牲层技术，其作用是支撑结构层，并形成所需要形状的最基本过程，在微器件制备的最后工艺中解牺牲层。

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关键词：MEMS EMS Liang 机械加工 激光加工