X射线光电子能谱(XPS)原理

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X射线光电子能谱（XPS）
主 要 内 容：
XPS的基本原理XPS的系统结构及工作原理XPS的实验方法XPS谱图的解释XPS谱图的应用实例
XPS的基本原理
XPS的原理是用X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。被光子激发出来的电子称为光电子。可以测量光电子的能量。X射线光子的能量在1000--1500ev之间，不仅可使分子的价电子电离而且也可以把内层电子激发出来，内层电子的能级受分子环境的影响很小。 同一原子的内层电子结合能在不同分子中相差很小，故它是特征的。光子入射到固体表面激发出光电子，利用能量分析器对光电子进行分析的实验技术称为光电子能谱。

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关键词：XPS 光电子 x射线 基本原理 工作原理