培训系列之质谱原理与真空检漏

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培训系列之质谱原理与真空检漏
《真空技术》
一. 真空技术概况 （巴德纯）二. 真空工程理论基础 （张世伟）三. 干式真空泵原理与技术基础 （巴德纯）四. 真空系统组成与设计基础 （刘坤）五. 真空获得设备原理与技术基础 （张以忱）六. 真空测量技术基础 （刘玉岱）七.真空镀膜技术基础 （张以忱）八. 质谱原理与真空检漏 （刘玉岱）九. 真空冶金技术基础 （王晓冬）十. 真空与低温技术及设备 （徐成海）
东北大学第八期
培训系列之
真空检漏
1 检漏概述2 检漏方法3 检漏仪

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关键词：东北大学 理论基础 真空镀膜 真空泵