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工程复合材料
薄膜的制备方法
薄膜的制备方法可分为：液相法和气相法气相沉积技术分为：物理气相沉积和化学气相沉积。物理气相沉积：（PVD)        (1)真空蒸镀        (2)溅射镀膜        (3)离子镀膜化学气相沉积：(CVD)        (1)常压、低压CVD        (2)等离子辅助CVD        (3)激光（电子束）辅助CVD        (4)有机金属化合物CVD
蒸发镀膜
概念：把待镀膜的基片或工件置于真空室内，通过对镀膜材料加热使其气化而沉积于基体或工件表面并形成薄膜的工艺过程，称为真空蒸发镀膜，简称蒸发镀膜或蒸镀。
物理气相沉积（ PVD）

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关键词：复合材料 化合物 等离子 膜材料