第二篇扫描电子显微分析-PPT

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第二篇扫描电子显微分析
College of MSE, CQU
10、1 概述
扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)就是继透射电镜之后发展起来得一种电子显微镜。早在1935年,德国得Knoll就提出了扫描电镜得工作原理,1965年,第一台商用SEM问世,当时分辨率约为25nm。 我国1973年研制,已生产多种型号得SEM。国产机得分辨率与可靠性等方面与进口机器相比,还有一定得差距,现在SEM主要靠进口。日本每年生产SEM约1600台,国内现有SEM已超过1000台。
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