集成电路工艺中化学品
从硅晶圆片或化合物半导体晶片转化为各式各样复杂集成电路,其转化过程中利用了几百种复杂程度不一样化学反应。毫无疑问,在半导体集成电路制造工业中,微电子器件生产需要大量特殊材料和化学品。 当前,有200各种化学品用于半导体晶片加工工艺之中,即所谓“电子化学品”。
物质存在形态
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