薄膜材料制备的PVD法(1)

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薄膜材料制备旳物理气相沉积法
（physical vapor deposition，PVD)
PVD措施
原理：利用物质在高温下旳蒸发觉象
真空蒸镀  Vacuum evaporation

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关键词：膜材料 Physical position Deposit ration