金-半非整流接触(欧姆接触)及二极管特点和应用
金属-半导体接触
在制造半导体器件过程中,除了有PN结之外,还会碰到金属和半导体相接触情况,这种接触(指其间距离只有几个埃)。有时会在半导体表面形成载流子积累层,从而表现出低阻特征,其伏安特征是线性;有时会在半导体表面形成载流子耗尽层(阻挡层),出现表面势垒,其伏安特征与PN结相同,呈非线性状态。
这是因为金属功函数(Wm)、费米能级((EF)m)和半导体功函数(Ws)、费米能级((EF)s)不一样,当金属和半导体接触时会形成表面势垒造成。而详细是那种情况跟Wm和Ws大小以及半导体是n型或p型相关。上述两种情况在实际应用中都有用到之处,前者可用来作欧姆接触(非整流接触),后者可用来制作肖特基势垒二极管(整流接触)。


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