薄膜的物理气相沉-饶泽勇肖萍省公开课金奖全国赛课一等奖微课获奖PPT课件

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薄膜物理气相沉积（II）
——溅射法及其它PVD方法

3.1气体放电现象与等离子体

气体放电现象是离子建设过程基础。V=E-IR直流气体放电体系：见图3.2放电现象描述：1.汤生放电：伴随放点电流快速增加，电压改变不大放电阶段。2.电晕放电：在汤生放电后期，在电场强度较高点击尖端部位开始出现一些跳跃电晕光斑。3.等离子体：在汤生放电阶段之后，气体会发生突然放电击穿现象，这是气体开始具备了相当导电能力，这种具备一定导电能力气体称为等离子体！4.辉光：气体中导电粒子数目大量增加，离子碰撞过程中伴随能量转移也够大，所以放电气体会发生显著辉光。

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