单晶炉安全操作规范

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单晶炉安全操作规范
1、开机安全检查
单晶炉开机、装料前，应对电气、机械、液压等部分进行检查，使单晶炉电极处于无电压输出，各机械传动安全可靠；
1）检查主加热器处于关闭状态（是否切断主回路的空开？）；
2）欧陆表输出设定为
；3）上炉膛、炉盖、付室的机械联接部位螺丝无松动现象；
4）检查上、炉膛、炉盖付室的液压升降应正常；
2、装炉时安全事项
在开机检查正常情况下，可以装炉，同时在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌；
3、抽真空安全事项
1）开真空泵前，应检查真空泵房，确保对应本设备的真空泵及管道处于无其他人员操作状态；
2）按真空泵操作章程
正确操作；
3）抽真空过程当中
，应检查各环节的密封圈处于正常，应无脱落、装反等现象；
4）在单晶炉真空状态过程当中
，严禁用手或其他物品碰触或堵漏气处，以免造成人身或设备损害，如发现漏气，应按停炉恢复常压规程操作；
4、装炉、装料、拆炉、清炉、清理真空泵及真空管道过程的安全事项
1）按工艺操作章程
进行正确操
作；2）必须在主加热器处于关闭状态、欧陆表输出设定为
的状态下操作；
3）在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌；
4）禁止操作人员身体处于液 ...

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关键词：安全检查 真空泵 警示牌 加热器 控制柜