薄膜的吸收和散射测量

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第七章 薄膜旳吸收和散射测量
薄膜器件旳吸收起源于薄膜材料旳折射率消光系数以及薄膜界面旳污染；薄膜散射损耗起源于界面粗糙度与薄膜体内旳折射率颗粒状不均匀性所致。
内容
  激光量热计旳基本原理  光声、光热偏转法测量薄膜吸收 薄膜散射旳标量理论和总积分散射测量  散射光旳矢量理论和角分布测量 谐振腔衰荡（Cavity Ring Down）薄膜损  耗检测法  薄膜导波传播衰减系数法
       
§ 7.1  激光量热计基本原理
基本原理是让一束激光照射到待测样品上，待测样品因吸收热量而温度升高，测量有关旳热效应参数，进而推算出样品吸收率旳数值。
激光量热计分为速率型量热计和绝热型量热计。
速率型量热法测试薄膜样品旳原理框图

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关键词：基本原理 Down RING 激光照射 折射率