超精密微机械制造技术研究进展

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超精密微机械制造技术研究进度
随着社会经济的不断发展，国防领域、微电子工业领域、生物工程以及太空机械领域也是步入了空前的发展阶段，对设备的的精密多维细微零件的要求也是日渐苛刻。三维微小零件在结构、材料、尺寸和零件表面的特异性、多样性、高精度、高质感也是成为了三维细微零件和微型设备的装置最为标志性性的特征，在材料使用、功能鉴定、使用年限、可靠性等方面要求也是非常之高，笔者从超精密微机械制造技术的含义、国内研究成果、发展现状、动态对超精密生产技术进行整理和归纳，对超精密微机械制造技术做出大胆的未来趋势走向，为以后国家的超精密技术研究和生产提
供一定的参考依据。
超精密微机械的主要发展时期还是集中于
21世纪，微机械的不断进步在使得人们生活质量不断提高的同时它的迅猛发展将在
21世纪中后期促使所有工业领域产生一场革命性的变化。超精密微机械又称作
“三微制造技术
”由微电子器件制造、微机电系统制造和微光电子器件制造三个领域构成，目前世界内的微型无人机、超速高空飞行器、四代机等均由三微技术在独立支撑，而且，微机电系统及微机电器件是机载设备发展的主要方向之一。
1.超精密微机械制造技术的内涵和应用 ...

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关键词：机械制造 制造技术 研究进展 电子器件 21世纪