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雷达卡
真空镀膜机安全管理规定
真空镀膜设备是电阻加热式蒸发真空镀膜设备。操作人员必须详细阅读该机说明书，了解设备结构、工作原理、操作程序并由专业人员指导培训，熟练掌握各操作要领。经有关专业人员确认符合操作规范，方能独立上岗作业
。一、该机开机前应该先
检查电控柜的接线是否有松脱现象，接上电源，并检查真空室内电极绝缘性，钨丝接触是否可靠，工件架转动是否自如。联轴器，输入电极接触是否良好，各密封处尤其是
动密封处是否良好。还需检查扩散泵、旋片泵、罗茨泵、滑阀泵等的油量是否满足要求。提供的电源、气源，各种机械泵转向都应当正确
。注意：试验罗茨泵转向一定要在真空状态下进行。
经过上述检查，各项性能良好，才能进行抽气试机。如果镀膜室长期暴露大气，还必须进行
“炼气”，就是按照操作章程
，不进行镀膜，只让机械泵、扩散泵等连续抽气，察看真空度上升的稳定情况，若
真空度保持稳定，才能进行下一步操作。一般
“炼气”时间要达
10小时以上。调试时主要检查：
1.真空检漏2.
检查极限压强3.
抽气时间
二、满足以上各项检查后，进入操作和使用：
1.在无特殊情况
下，请勿以断拉闸
(断电)方式停机。
2.本设备通 ...
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