全球及中国半导体设备产业现状本土企业进口替代空间分析
2018年全球半导体销售额高达4688亿美元,其中集成电路销售额3933亿美元,占比84%。集成电路是半导体最主要、技术难度最高的产品。
2018年中国集成电路产业自制率仅为24%,从进出口来看,2018年我国集成电路进口3121亿美元,出口846亿美元,贸易逆差高达2275亿美元。近年来,我国集成电路进口金额超过原油、汽车整车和汽车零部件。由于集成电路巨大的缺口以及贸易逆差,我国发展集成电路产业的需求非常迫切,半导体设备行业迎来机遇。
半导体领域中,集成电路运用最广泛、占比最高、技术难度最大。本文将主要围绕集成电路制造工艺和相关设备展开。
半导体设备主要运用于集成电路的制造和封测两个流程,分为晶圆加工设备、检测设备和封装设备,以晶圆加工设备为主。检测设备在晶圆加工环节(前道检测)和封测环节(后道检测)均有使用。
晶圆加工流程包括氧化、光刻和刻蚀、离子注入和退火、气相沉积和电镀、化学机械研磨、晶圆检测。所用设备包括氧化/扩散炉、光刻机、刻蚀机、离子注入机、薄膜沉积设备(PVD和CVD)、检测设备等。
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