LTPS製程與技術發展概要
前言
低溫多晶矽薄膜電晶體液晶平面顯示器(Low Temperature Poly-Silicon Thin Film Transistor,LTPS TFT LCD),乃指其TFT中之半導體薄膜的結晶形態是多結晶(Polycrystalline),並非是非結晶(Amorphous)的。
資料來源:工研院電子所
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楼主: 打了个飞的
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[课件与资料] LS制程与技术发展概要PPT课件 |
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