GaN多量子阱悬空波导探测器的设计与表征

是 否 +2 论坛币

k人 参与回答

经管之家送您一份

应届毕业生专属福利!

求职就业群

赵安豆老师微信：zhaoandou666

经管之家联合CDA

送您一个全额奖学金名额~ !

立即领取

感谢您参与论坛问题回答

经管之家送您两个论坛币！

+2 论坛币

GaN多量子阱悬空波导探测器的设计与表征
光电探测器作为现代光通信系统中的关键器件,在推动社会信息化快速发展上发挥着至关重要的作用。尤其是光电探测器与不同结构波导的集成,进一步促进了探测器在不同领域的应用。
具有高响应速率、高可靠性、制作工艺简单等优点的波导探测器,将是未来光通信器件的发展方向。本文对悬空波导结构以及探测器制备工艺进行了研究,成功实现了GaN多量子阱悬空波导探测器在Si衬底GaN基晶元上的单片集成。
主要工作和成果如下:提出了一种GaN悬空结构波导,并使用FDTD数值分析法对波导的光耦合属性进行了仿真分析。GaN材料与空气的高折射率差,使悬空结构波导具有强光场限制功能。
研究紫外光刻、深硅刻蚀和背后减薄刻蚀、电子束蒸镀等主要工艺,实现了p-n结GaN多量子阱悬空波导探测器的集成制备。采用深硅刻蚀和背后减薄刻蚀双面工艺实现了悬空结构波导。
之后,使用光学显微镜、扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)等设备对器件的结构、电极区域和薄膜表面粗糙度进行了测试和分析。搭建了GaN多量子阱悬空波导探测器主要特性参数测量系统。
对器件主要特性参数进行了测量并对结果进行了分析。器件 ...

扫码加我 拉你入群

请注明：姓名-公司-职位

以便审核进群资格，未注明则拒绝

分享0 收藏0 回帖

关键词：探测器 光学显微镜 通信系统 数值分析 发展方向