InAs/GaSb超晶格光伏型红外探测器研究
InAs/Ga(In)Sb超晶格具有第二类型能带排列方式,它的能带结构可以通过改变InAs层和GaSb层的厚度或者设计合适的势垒层得到调整,从而使得这个材料体系的禁带宽度有着很大的调整余地,理论上可以通过调整它的禁带宽度使得探测器的探测截止波长在2-30μm之间。本文对InAs/GaSb二类超晶格红外探测材料与器件进行了理论和实验研究。
利用包络函数近似的8带k·p理论建模,应用有限元法对InAs/GaSb超晶格红外探测的的能带结构进行了计算,得出了超晶格能带在不同组分厚度,周期数以及InAs与GaSb厚度比时的值,并分析能带随着上述因素的变化趋势。超晶格周期在20-30个周期之间时,探测器的探测截止波长随周期数的增加而增加,30-70周期之间,看不到探测截止波长的增加。
随着超晶格周期厚度的增加,探测截止波长总趋势是增加的,但是这种增加呈现周期性震荡,在一个小周期内,随着超晶格周期厚度的增加,探测截止波长反而有少量的减少。随着超晶格中的InAs层的增加,探测器的探测截止波长变长。
用掩模、光刻、腐蚀、蒸镀、压焊以及分装等标准半导体加工工艺 ...


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