微电子制造原理与技术第二部分 芯片制造原理与技术
李 明
材料科学与工程学院
芯片发展历程与莫尔定律晶体管结构与作用芯片微纳制造技术
主要内容
半导体基础知识MOSFET晶体管结构和工作原理晶体管应用举例
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导体、半导体、绝缘体
单元素半导体:Si、Ge、Sn等,外壳电子数为 4的C族元素化合物半导体:GaAs、GaP、InAs、ZnSe等, 一般由B和N族组成的化合物。氧化物半导体:ZnO、MnO2、MnO、Cr2O3、 NiO、TiO2、Cu2O、SnO2等
电阻率的影响因素:杂质、温度、光、结构缺陷
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