抛光清洗学习经验之总结幻灯片

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Li DingChun
深圳长城开发铝基片有限公司
抛光清洗工艺流程
ADE厚度分组
一步擦洗
一步抛光
二步抛光
AOI全检
二步清洗
Candela测量
SPC
SPC
Li DingChun
深圳长城开发铝基片有限公司
抛光清洗检测原理
◆抛光的切削原理: 使用一定的压力，通过抛光机上／下盘相对于盘片的运动，在抛光液颗粒的机械作   用和化学物质的化学作用下，对盘片表面进行切削，使盘片产生一定的去除量
◆OL的清洗原理:  利用清洗剂的化学作用和PVA海绵刷的机械作用再结合超声波兆声波的作用将盘片表  面的脏污进行去除,最后借助烘干仓内DI水与盘片在高速转动的相对速度下,会产生  较大的冲击力达到清除吸附杂质的目的, 并在高速旋转时,增大离心力,使盘片表面   很快脱水进行烘干
◆AOI的检测原理: 主要是利用激光对盘片表面进行照射，根据光反射回的强度将其转换成电压值从而   判断和检测出盘片的表面缺陷并分类(不同形状的缺陷反射的电压值不一样)

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关键词：学习经验 幻灯片 DING 有限公司 长城开发