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电子显微镜(4)
第五章 电子显微镜的结构
电子显微镜一般由电子光学系统，信号收集及显示系统，真空系统及电源系统组成。
武汉理工大学资环学院 管俊芳
1 电子光学系统 （1）
   电子光学系统由电子枪，电磁透镜，扫描线圈和样品室等部件组成。   其作用是用来获得扫描电子束，作为产生物理信号的激发源。   为了获得较高的信号强度和图像分辨率，扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。
武汉理工大学资环学院 管俊芳

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关键词：电子显微镜 显微镜 武汉理工大学 武汉理工 理工大学