GB_T_38976-2020_硅材料中氧含量的测试惰性气体熔融红外法

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             前   言
本标准按照 ＧＢ／Ｔ１．１—２００９ 给出的规则起草 。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会 （ＳＡＣ／ＴＣ２０３）与全国半导体设备和材料标准
化技术委员会材料分技术委员会（ＳＡＣ／ＴＣ２０３／ＳＣ２）共同提出并归口  ...

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关键词：委员会 半导体 标准化