单晶硅设备培训
目录
1. 硅料的提炼2.单晶硅片工艺流程3. 单晶炉展示4. 产品展示5. 单晶炉种类6. 单晶炉结构7. 各个部件的作用8. 单晶工艺流程9. 晶升, 埚升介绍10.加热部分
硅的提炼:
硅,Si,地球上含硅的东西多的很好像90%以上都是晶硅的,也就是单晶硅。太阳能级别的硅纯度6N以上就可以了。 开始是石头,(石头都含硅),把石头加热,变成液态,在加热变成气态,把气体通过一个密封的大箱子,箱子里有N多的子晶加热,两头用石墨夹住的,气体通过这个箱子,子晶会把气体中的一种吸符到子晶上,子晶慢慢就变粗了,因为是气体变固体,所以很慢,一个月左右,箱子里有就很多长长的原生多晶硅。


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