MEMS工艺9腐蚀技术

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MEMS工艺——
体硅加工工艺（腐蚀）
石云波 3920397(O)
主要内容
湿法腐蚀各向异性各向同性自停止腐蚀技术凸角补偿技术干法刻蚀深槽技术
一、体硅微制造
体硅微制造广泛应用于微型传感器和加速计旳制造上 经过基底材料旳清除（一般是硅晶片），来形成想要旳三维立体旳微构造。

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关键词：MEMS EMS 主要内容 传感器