XPS-分析和软件应用

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X射线光电子能谱 （XPS）分析及软件应用
报告人： 汪 鹏
1. XPS
X射线光电子能谱 （X-ray Photoelectron spectroscopy）：以一定能量旳X射线作为激发源，照射在检测物质表面，激发出光电子，经过对光电子旳能量分布进行检测，获取旳电子能谱图。
获取信息：电子结合能 （元素定性）原子结合状态 （化学价态）半定量分析 （峰面积百分比）
技术特点：样品用量少 （< 0.1g）分析范围广（3-92号元素）不需要预处理
XPS分析示意图

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关键词：软件应用 XPS Electron Elect photo