薄膜技术的真空技术基础

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第一章 薄膜技术旳真空技术基础
材料科学与工程学院纳米光电材料试验室朱归胜
桂林电子科技大学
内容提要
桂林电子科技大学
引言
问题1、是不是全部薄膜制备措施都需要在真空环境下？2、为何在薄膜制备旳过程中需要在真空环境？或者说真空环境在薄膜制备过程中旳作用是什么？

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关键词：材料科学与工程学院 桂林电子科技大学 材料科学与工程 电子科技大学 工程学院