镀膜机安全技术操作规程

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镀膜机安全技术操作章程
一、目的
消除一切使设备遭到损坏、使人身健康与安全受到威胁、使环境遭到污染的因素或现象，避免设备事故的发生，实现安全正常生产。
二、适用范围
本公司镀膜机的安全生产管理的全过程。
三、安全操作章程
1、开机前先检查各真空泵的油位高度，如有不足要补充后再开机。
2、开高阀前必须对溅射室抽低真空，待压力达到
5Pa时，方可打开高阀，不允许直接用扩散泵抽高于
5Pa压力的溅射室。
3、操作或维修高阀时，阀两侧压力基本一致时才能开高阀。
4、对溅射室充气前，应首先切断真空计的高真空测量，以免损坏电离规管。
5、设备使用中途停水时，应当立即
切断扩散泵和溅射电源。
6、设备使用中途停电时，应将真空计的电离规管关闭，关压电阀，关
“充气阀”，关溅射电源，关工件旋转和烘烤电源等，待来电后重新启动。
7、应根椐使用情况定期观察弧靶腐蚀沟道的情况及时更换新靶材。
8、拆装弧靶时
，应该先
关闭冷却水，拆下水管，用压缩空气吹净靶体内的水，防止水滴在溅射室内；并且不能损伤靶体，尤其是密封面。
9、更换靶材时，不能损坏密封表面、靶阴极体及靶零件，必须清除油污及汗渍。
10、开启溅射室盖 ...

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关键词：安全技术 操作规程 生产管理 适用范围 安全生产