金属有机化合物气体应用：四氟化硫

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金属有机化合物气体应用：四氟化硫
1.别名middot;英文名
氟化硫；Sulfurtetrafluoride、Sulfurfluoride．
2.用途
电子气、化学气相淀积、氟化剂、表面处理剂、等离子干刻。
3.制法
2F2+Srarr;SF4
4.理化性质
分子量：108.058
熔点：-121.5℃
沸点(101.325kPa)：-40.4℃
液体密度(-40.4℃，101.325kPa)：1816kg/m3
(-80℃，S.P.)：1940.6kg/m3
气体密度(20℃，101.325kPa)：4.558kg/m3
相对密度(气体，空气=1，20℃，101.325kPa)：3.783
比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2247m3/kg
临界温度：90.9℃
临界压力：6342.9kPa
气化热(-40.4℃，101.325kPa)：200
.72kJ/kg
比热容(气体，25℃)：Cp=707.57J/(kgmiddot;k)
蒸气压(-100℃)：0.9kPa
(-60℃)：32kPa
(21.1℃)：1067

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关键词：化合物 表面处理 KPA DOT flu