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多层结构高频声表面波器件的分析与研制
声表面波器件(Surface Acoustic Wave Device)是通讯系统中重要的器件之一。由于目前通讯器件朝着高频化发展，优良的高频声表面波器件必须具有高声速、高机电耦合系数、低传播损耗、高温度稳定性等特性。
通过在压电材料与衬底之间加入高声速的金刚石膜层，可以提高声表面波传播速度，使声表面声波器件在不改变叉指换能器(IDT)线宽条件下，提高中心频率，以满足通信系统的高频需求。本研究采用金刚石为基片来提高声表面波速度，并选用压电性能优良的氧化锌(ZnO)薄膜压电材料，对ZnO／IDT／金刚石多层膜结构的声表面波器件分析和研制。
主要完成了以下几方面工作：1．理论模型研究以多层结构的波传播特性为基础计算出声表面波传播速度和机电耦合系数，应用耦合模型(coupling of modes)理论，进一步模拟出多层结构声表面波滤波器的频率响应，优化设计多层结构基片和叉指换能器结构，编制了模拟程序软件。2．高频声表面波滤波器的多层结构基片及器件的设计和制备根据理论分析设计出的高频声表面波滤波器的多层结构基片和叉指换能器结构，采用热丝化学气相沉积(HF ...

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关键词：多层结构 coupling Surface device Modes