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【作者(必填)】
Ungar, E. E.; Gordon, C. G.
【文题(必填)】
Vibration challenges in microelectronics manufacturing
【年份(必填)】
05/1983
【全文链接或数据库名称(选填)】http://adsabs.harvard.edu/abs/1983SVICB.......51U

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