微电子工艺课件Chapter1

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研究领域：硅基集成光电子学（ Silicon-based OEIC）研究方向：硅基高效发光材料与器件，包括           1、硅基掺铒光波导放大器（EDWA)           2、硅基电注入激光器参考：http://www.intel.com/go/sp/       http://photonics.mit.edu/       http://www.ece.ucsb ...

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