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高能粒子束表面改性技术研究与发展
昆明理工大学 材料111班
解开书【摘要】
主要叙述了高能粒子束表面改性技术
中的离子束表面改性技术
的基本原理、 工艺特点、 发展趋势及其存在的问题和解决途径。
关键词: 高能粒子束; 表面改性; 研究与进展
前言高能粒子束表面改性是经过高能量密度的束流改变材料表面的成分或组织结构的表面处理技术。由于高能粒子束的功率密度能够达到10
8W/cm
2以上, 甚至可超过10
9W/cm
2, 因此在极短的作用周期下, 材料表面就能达到其它表面技术所无法达到的效果。
高能粒子束表面改性技术具备以下一些特点:
能量密度能够在很大范围内进行调节, 并可精确控制;
高能粒子束表面改性技术能够方便地与传统的表面改性技术结合起来, 从而弥补甚至消除各自的局限性;
利用高能粒子束能够对材料表面进行超高速加热和超高速冷却, 其冷却速度可达10
4℃/S, 从而实现新型超细、 超薄、 超纯材料的合成和金属复合材料的制备。
高能离子束表面改性技术的研究及其应用
1.1离子束表面改性研究现状
20世纪70年代中期, 离子注入技术进入到半导体材料的表面改性, 采用离子注入精细掺 ...

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关键词：研究与发展 昆明理工大学 半导体材料 表面处理 发展趋势