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第六讲微传感器
传感器微型化是当今传感器技术的主要发展方向之一，也是微机电系统（MEMS）技术发展的必然结果。微传感器是目前最为成功、最具有实用性的微机电系统装置。微传感器敏感元件尺寸一般在0.1~100微米之间。微传感器在理论基础、结构工艺、设计方法等方面，都有许多自身的特殊现象和规律。
微传感器概述
微传感器概述
  微传感器包括三个层面的含义：① 单一微传感器。显著特点是尺寸小(从微米级到毫米级、有的甚至达到纳米级)，主要采用精密加工、微电子技术以及MEMS技术，使尺寸大大减小。② 集成微传感器。 将微小的敏感元件、信号处理器、数据处理装置封装在一块芯片上，形成集成的传感器。③ 微传感器系统。包括微传感器、微执行器，可以独立工作。此外，还可以由多个微传感器组成传感器网络或者通过其他网络实现异地联网。

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关键词：传感器 MEMS 电子技术 数据处理 理论基础