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光电子能谱
    固体表面分析已发展为一种常用的仪器分析方法，特别是对于固体材料的分析和元素化学价态分析。目前常用的表面分析方法有：X射线光电子能谱(XPS): 应用面广泛, 更适合于化学                       领域的研究；俄歇电子能谱(AES): 主要用于物理方面的固体材料；静态二次离子质谱(SIMS) 和离子散射谱(ISS)：    定量效果较差，在常规表面分析中的应用相对较    少。但近年随着飞行时间质谱（TOF-SIMS）的发    展，质谱在表面分析上的应用也逐渐增加。
引言
X射线光电子能谱（XPS）也被称作化学分析用电子能谱（ESCA）。XPS是瑞典Uppsala大学K.Siegbahn及其同事经过近20年的潜心研究而建立的一种分析方法。由于在XPS理论和技术上的重大贡献，1981年，Kai Siegbahn获得了诺贝尔物理奖。三十多年来， XPS已从刚开始主要用来对化学元素的定性分析，发展为表面元素定性、半定量分析及表面元素化学价态分析的重要手段。研究领域不再局限于传统的化学分析，而扩展到现代迅猛发展的材料学科。目前该分析方法在日常表面分 ...

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关键词：光电子 诺贝尔物理奖 分析方法 定量分析 研究领域