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課程目的與大綱
AMAT SystemMainframe+Process Chamber+RemoteSubsystem了解次系統觀念與次系統工作原理與應用廠務設計(facility)主機系統輔助設備反應室輔助設備大綱安全(SAFETY/LOCKOUT TAGOUT) 概說(Introduction)主機平台(MAINFRAME)廠務設施設計(System Facilities)
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課程目的與大綱
電力系統(AC POWER BOX/POWER DISTRIBUTION)傳送反應室(Transfer Chamber)傳送機制(Wafer Handling)晶舟承載(Loadlock Chamber)輔助反應室(Auxiliary Chamber)系統控制器(SYSTEM CONTROLLER)高週波(射頻)產生器(GENERATOR RACK)熱交換系統(HEATER EXCHANGER)氣體傳送系統(GAS DELIVERY SYSTEM)真空系統(VACUUM SYSTEM)
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