[精选]超光滑表面加工技术

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超光滑表面加工技术
学生姓名: 魏宇峰专    业: 无机非金属材料工程指导教师：张希艳
主要内容
简述
  近年来，空间光学、X射线学、紫外光学以及磁记录、光学记录、超大规模集成电路等领域的发展，对上述光学系统的光学元件提出了极精确面型和超光滑表面的加工要求，其表面粗糙度在纳米级。
通常把粗糙度为纳米级的表面称为超光滑表面。超光滑表面加工技术，即超光滑抛光，相当于原子、分子水平上的加工。

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关键词：金属材料 材料工程 集成电路 主要内容 超大规模