基于MEMS技术压阻式加速度传感器

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基于MEMS
技术压阻式加速度传感器
学院：信息科学与工程学院
专业班级：微电子学与固体电子学
学号：2015407
学生姓名：夏贝贝指导教师：揣荣岩
(教授)2015年11月1、MEMS
介绍微电子机械系统
(Micro Electro Mechanical
System)
，简称MEMS,
是在微电子技术基础上发展起来的集微型机械、微传感器、微执行器、信号处理、智能控制于一体的一项新兴的科学领域。
MEMS
制造技术是一种高水平的微米
/纳米技术。它不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。
研究开发的情况来看，我国在该领域的技术水平与世界先进水平的差距并不太大，某些方面甚至已达到先进水平。
MEMS
技术的产业化方面，却远远落后于世界先进水平。
2、MEMS
加速度传感器介绍
1977
年美国Stanfor
d大学在世界上首先采用微加工技术制造出一种开环硅加速度计，并在
80年代初形成了产品。但是这种装置的高动态范围、偏置及标度因数稳定性都比较差。美国
AD (Analog Devices)
公司于1989
年开始微梳齿式电容加速度 ...

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关键词：MEMS 传感器 EMS 加速度 Mechanical