等离子体化工导论讲义第一部分(2021整理)

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等离子体化工导论讲义
印永祥四川大学化工学院
前言等离子体化工是利用气体放电的方式产生等离子体作为化学性生产手段的一门科学。因其在原理与应用方面都与传统的化学方法有着完全不同的规律而引起广泛的兴趣，自20世纪70年代以来该学科迅速
开展，已经成为人们十分关注的新兴科学领域之一。
μm线宽的集成电路芯片唯一的选择，利用等离子体增强化学气相沉积方法制备无缺陷、附着力大的高品位薄膜将会使微电子学系统设计发生一场技术革命，低温等离子体对废水和废气的处理正在向实际应用阶段过渡，农作物、微生物利用等离子体正在不断培育出新的品种，利用等离子体技术对大分子链实现嫁接和裁剪、利用等离子体实现煤的洁净和生产多种化工原料的煤化工新技术正在
开展。可以说，在不久的将来，低温等离子体技术将在国民经济各个领域产生不可估量的作用。
但是，与应用研究的
开展相比，被称为年轻科学的等离子体化学的
根底理论研究缓慢而且较薄弱，其理论和方法都未
到达成熟的地步。例如，其中的化学
反响是经过何种历程进行，活性基团如何产生等等。因此，本课程力求介绍这些方面的一些
根底理论、研究方法、最新研究成果以及应用工艺。
课程内容安排：
...

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关键词：等离子体 等离子 实际应用 四川大学 不可估量