扫描电子显微镜

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2021
-07招标设备清单
附件：1、扫描电子显微镜
〔进口〕场发射扫描电子显微镜
主要用于材料
外表的微观形貌的高分辨观察，
可配备X射线能谱仪
等附件，
可同时进行微区的成分
分析，应具有配备X射线能谱仪
系统等的相应安装接口。
技术参数
1、分辨率：二次电子
图像：1
.0nm (
15kV),1.4nm (1kV
)背散射电子像：3.0nm(15kV)
2、加速电压:
0.1- 30KV
连续可调
3、束流范围：
1pA～2nA连续可调
4、放大倍率25X–1,000,000
X ；5、真空度：电子枪室
高真空10-7Pa样品室真空 10
-4Pa6、泵系统：磁悬浮分子泵、离子泵和机械泵
7、电子光学系统
电子枪：高稳定性场发射电子源，能自动合轴调整
聚光镜：
电磁透镜会聚系统，束流强度可连续可调；光阑角度控制透镜控制束斑尺寸
物镜光阑：X/Y方向精细可调对中
电图像位移：±5m
，可通过控制电子束
移动实现8、样品室和样品台
样品台：5轴马达驱动全对中样品台, 示意图在监视器上显示
样品台尺寸
可装直径不小于
150mm的样品行程：X＝70mm, Y=
50mm, Z=
...

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关键词：电子显微镜 显微镜 x射线 真空度 稳定性